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              VA真空單臂系列機器人

              可根據設備布局定制臂長及Z軸行程

              末端執行器類型:下托式



              臂展: 520mm? 負載: 2kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓? 環境: 真空

              AHY系列 晶圓機器人

              真空隔離,從容應對高真空環境

              雙工位交換晶圓動作(Swap)


              臂展: 213.4mm? 負載: ≤1kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓? 環境:真空


              DFA大氣雙軸片盒系列

              采用閉環伺服控制

              可根據設備布局定制臂長


              臂展: 400mm? 負載: 12kg? 搬運物: 4-12寸晶圓片盒?? 環境:大氣

              FA大氣單指系列機器人

              采用閉環伺服控制

              可根據設備布局定制臂長和Z軸行程

              可選配免電池絕對式編碼器

              可選mapping傳感器類型:對射式、反射式

              可選末端執行器類型:真空吸附式、夾持式、翻轉吸附式


              臂展: 420mm? 負載: 4kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓?? 環境:大氣

              FBA大氣雙指系列機器人

              采用閉環伺服控制

              可根據設備布局定制臂長和Z軸行程

              可選配免電池絕對式編碼器

              可選末端執行器類型:真空吸附式、邊緣夾持式


              臂展: 640mm? 負載: 4kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓? 環境: 大氣

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