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              TA大氣單臂系列機器人

              可根據設備布局定制底座和伸展軸行程

              末端執?器類型:下托式

              臂展: 400mm  負載: 3kg  搬運物: ≤Φ300mm晶圓  環境:大氣

              TBA大氣雙臂系列機器人

              可根據設備布局定制臂長及Z軸行程

              可選末端執行器類型:真空吸附式、夾持式、翻轉吸附式


              臂長:200/260/370/400mm  負載:6/8/12寸wafer

              支持mapping功能  支持晶圓有無檢測

              JC大氣校準器系列機器人

              采用閉環伺服控制

              晶圓固定方式:真空吸附


              國產替代首選-產品可全面替代日本進口品牌

              兼容8/12寸晶圓校準? 圓心校準精度:±0.1mm? 缺口校準精度:±0.1°


              SA大氣五指系列機器人

              可根據設備布局定制底座和伸展軸行程

              國產替代首選-產品可全面替代日本進口品牌

              臂展: 250mm? 負載: 5晶圓? 搬運物: Φ100Φ300mm晶圓? 環境:大氣

              CA大氣單軸片盒系列機器人

              采用閉環伺服控制,可根據設備布局定制臂長

              國產替代首選-產品可全面替代日本進口品牌

              臂展: 260mm  負載: 3kg  搬運物: 4-8寸晶圓片盒  環境:大氣

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