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產(chǎn)品中心 Product Center

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? ? 眾為興機(jī)器人

? ? 全球工業(yè)機(jī)器人代表性品牌

? ? 中國(guó)運(yùn)動(dòng)控制解決方案提供商

? ? 國(guó)產(chǎn)SCARA頭部品牌

? ? 2017- 2019 年

? ? SCARA 機(jī)器人出貨量國(guó)產(chǎn)第一

? ? 2020- 2023 年

? ? SCARA 機(jī)器人出貨量全球第四

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TBA大氣雙臂系列機(jī)器人

可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長(zhǎng)及Z軸行程

可選末端執(zhí)行器類型：真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式

臂長(zhǎng)：200/260/370/400mm 負(fù)載：6/8/12寸wafer

支持mapping功能支持晶圓有無(wú)檢測(cè)

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JC大氣校準(zhǔn)器系列機(jī)器人

采用閉環(huán)伺服控制

晶圓固定方式：真空吸附

國(guó)產(chǎn)替代首選-產(chǎn)品可全面替代日本進(jìn)口品牌

兼容8/12寸晶圓校準(zhǔn)? 圓心校準(zhǔn)精度：±0.1mm? 缺口校準(zhǔn)精度：±0.1°

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SA大氣五指系列機(jī)器人

可根據(jù)設(shè)備布局定制底座和伸展軸行程

國(guó)產(chǎn)替代首選-產(chǎn)品可全面替代日本進(jìn)口品牌

臂展: 250mm? 負(fù)載: 5晶圓? 搬運(yùn)物: Φ100Φ300mm晶圓? 環(huán)境：大氣

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CA大氣單軸片盒系列機(jī)器人

采用閉環(huán)伺服控制，可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長(zhǎng)

國(guó)產(chǎn)替代首選-產(chǎn)品可全面替代日本進(jìn)口品牌

臂展: 260mm 負(fù)載: 3kg 搬運(yùn)物: 4-8寸晶圓片盒環(huán)境：大氣

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VA真空單臂系列機(jī)器人

可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長(zhǎng)及Z軸行程

末端執(zhí)行器類型：下托式

臂展: 520mm? 負(fù)載: 2kg? 搬運(yùn)物: ≤Φ300mm晶圓? 環(huán)境: 真空

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