一.機械結構引起的抖動可分為兩種情況：
1)空載抖動：
a.電動機基礎不牢、剛度不夠或固定不緊。
b.風扇葉片損壞，破壞了轉子的機械平衡。
c.機軸彎曲或有裂紋。可通過緊固螺釘、更換風扇葉片、更換機軸等辦法解決。
2)如果加負載后抖動，一般是傳動裝置的故障引起，可判斷以下部位存在缺陷：
a.膠帶輪或聯軸器轉動不平衡。
b.聯軸器中心線不一致，使電動機與所傳動的機械軸線不重合。
c.傳動膠帶接頭不平衡。可通過校正傳動裝置使之平衡等辦法解決。
二.速度環問題引起的抖動：
速度環積分增益、速度環比例增益、加速度反饋增益等參數不當。增益越大，速度越大，慣性力越大，偏差越小，越易產生抖動。設定較小的增益可維持速度響應，不易產生抖動。
三.伺服系統的補償板和伺服放大器故障引起的抖動：
電機運動中突然掉電停止，產生很大抖動，與伺服放大器BRK接線端子以及設定參數不當有關。可增加加減速時間常數，用PLC緩慢啟動或停止電機使之不抖動。
四.負載慣量引起的抖動：
導軌和絲桿出現問題引起負載慣量增大。導軌和絲杠的轉動慣量對伺服電機傳動系統的剛性影響很大，固定增益下，轉動慣量越大，剛性越大，越易引起電機抖動；轉動慣量越小，剛性越小，電機越不易抖動。可通過更換較小直徑的導軌和絲桿減小轉動慣量從而減小負載慣量來達到電機不抖動。
五.電氣部分引起的抖動：
a.制動沒打開，反饋電壓不穩等因素引起。檢查制動是否打開，通過加編碼器矢量控制零伺服功能，采用降力矩的方式輸出一定的的轉矩解決抖動。反饋電壓不正常應先檢查振動周期是否與速度有關，若有關，則應檢查主軸與主軸電機的連接方面是否有故障，主軸以及裝在交流主軸電機尾部的脈沖發生器是否損壞等，若無關，則應檢查印刷線路板上是否故障，需要查看線路板或重新調整。
b.電動機運行中突然抖動，大多是缺相造成的，應重點檢查熔斷器熔體是否熔斷，開關接觸是否良好，并測量電網各相是否有電。